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    接觸式臺階儀測膜厚儀

    簡(jiǎn)要描述:CP系列接觸式臺階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀(guān)輪廓,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

    • 更新時(shí)間:2024-06-14
    • 產(chǎn)品型號:CP200
    • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:22

    詳細介紹

    品牌CHOTEST/中圖儀器價(jià)格區間面議
    產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)應用領(lǐng)域能源,電子,電氣,綜合

    中圖儀器CP系列接觸式臺階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀(guān)輪廓,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。

    接觸式臺階儀測膜厚儀

    產(chǎn)品功能

    1.參數測量功能

    1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;

    2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過(guò)計算掃描出的微觀(guān)輪廓曲線(xiàn),可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數;

    3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導體晶圓制造過(guò)程中,因多層沉積層結構中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類(lèi)似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

    2.數采與分析系統

    1)自定義測量模式:支持用戶(hù)以自定義輸入坐標位置或相對位移量的方式來(lái)設定掃描路徑的測量模式;

    2)導航圖智能測量模式:支持用戶(hù)結合導航圖、標定數據、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來(lái)實(shí)現掃描的測量模式。

    3)SPC統計分析:支持對不同種類(lèi)被測件進(jìn)行多種指標參數的分析,針對批量樣品的測量數據提供SPC圖表以統計數據的變化趨勢。

    3.光學(xué)導航功能

    配備了500W像素的彩色相機,可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸到軟件中顯示,進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測量。

    4.樣品空間姿態(tài)調節功能

    配備了精密XY位移臺、360°電動(dòng)旋轉平臺和電動(dòng)升降Z軸,可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調節,提高測量精度及效率。


    作為一種常用的膜厚測量?jì)x器,CP系列接觸式臺階儀測膜厚儀利用光學(xué)干涉原理,通過(guò)測量膜層表面的臺階高度來(lái)計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

    接觸式臺階儀測膜厚儀

    針對測量ITO導電薄膜的應用場(chǎng)景,CP200臺階儀提供如下便捷功能:

    1)結合了360°旋轉臺的全電動(dòng)載物臺,能夠快速定位到測量標志位;

    2)對于批量樣件,提供自定義多區域測量功能,實(shí)現一鍵多點(diǎn)位測量;

    3)提供SPC統計分析功能,直觀(guān)分析測量數值變化趨勢;


    臺階儀應用場(chǎng)景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類(lèi)及硬度等均無(wú)特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽(yáng)能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀(guān)形貌參數的準確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

    接觸式臺階儀測膜厚儀

    性能特點(diǎn)

    1.亞埃級位移傳感器

    具有亞埃級分辨率,結合單拱龍門(mén)式設計降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復性;

    2.超微力恒力傳感器

    1-50mg可調,以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設計和微小電磁力控制,實(shí)現無(wú)接觸損傷的接觸式測量;

    3.超平掃描平臺

    系統配有超高直線(xiàn)度導軌,杜絕運動(dòng)中的細微抖動(dòng),真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀(guān)形貌。


    典型應用

    接觸式臺階儀測膜厚儀


    部分技術(shù)參數

    型號CP200
    測量技術(shù)探針式表面輪廓測量技術(shù)
    探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
    平臺移動(dòng)范圍X/Y電動(dòng)X(jué)/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平)
    樣品R-θ載物臺電動(dòng),360°連續旋轉
    單次掃描長(cháng)度55mm
    樣品厚度
    50mm
    載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
    尺寸(L×W×H)mm640*626*534
    重量40kg
    儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

    使用環(huán)境

    相對濕度:濕度 (無(wú)凝結)30-40% RH

    溫度:16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

    地面振動(dòng):6.35μm/s(1-100Hz)

    音頻噪音:≤80dB

    空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動(dòng))

    懇請注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

    如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。

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