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    納米級高精度白光干涉測厚儀

    簡(jiǎn)要描述:中圖儀器SuperViewW納米級高精度白光干涉測厚儀的復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區域,不見(jiàn)一絲重疊縫隙。

    • 更新時(shí)間:2024-06-14
    • 產(chǎn)品型號:SuperViewW1
    • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:24

    詳細介紹

    品牌CHOTEST/中圖儀器價(jià)格區間面議
    產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)應用領(lǐng)域能源,電子,航天,汽車(chē),綜合

    針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿(mǎn)足的高精度、大掃描范圍的需求,中圖儀器SuperViewW納米級高精度白光干涉測厚儀的復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區域,不見(jiàn)一絲重疊縫隙。

    納米級高精度白光干涉測厚儀


    SuperViewW納米級高精度白光干涉測厚儀以白光干涉技術(shù)為原理,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數,從而實(shí)現器件表面形貌3D測量。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。


    產(chǎn)品功能

    (1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

    (2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能;

    (3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能;

    (4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

    (5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

    (6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

    納米級高精度白光干涉測厚儀


    應用領(lǐng)域

    對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

    應用范例:

    納米級高精度白光干涉測厚儀


    SuperViewW白光干涉儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?,確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

    納米級高精度白光干涉測厚儀


    性能特色

    1、高精度、高重復性

    1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高;

    2)隔振系統,能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩定使用,獲得高測量重復性;

    2、環(huán)境噪聲檢測功能

    具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,在設備調試、日常監測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數據作為支撐。

    3、精密操縱手柄

    集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

    4、雙重防撞保護措施

    在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止狀態(tài),最大限度的保護儀器,降低人為操作風(fēng)險。

    5、雙通道氣浮隔振系統

    既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作。


    部分技術(shù)指標

    型號W1
    光源
    白光LED
    影像系統1024×1024
    干涉物鏡

    標配:10×

    選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

    光學(xué)ZOOM

    標配:0.5×

    選配:0.375×;0.75×;1×

    物鏡塔臺

    標配:3孔手動(dòng)

    選配:5孔電動(dòng)


    XY位移平臺

    尺寸320×200㎜
    移動(dòng)范圍140×100㎜
    負載10kg
    控制方式電動(dòng)
    Z軸聚焦行程100㎜
    控制方式電動(dòng)
    Z向掃描范圍10 ㎜
    主機尺寸(長(cháng)×寬×高)700×606×920㎜

    懇請注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

    如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。

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